เครื่องทำให้บางเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการทำให้บางของวัสดุพื้นผิว เช่น เวเฟอร์ซิลิคอน แกลเลียมอาร์เซไนด์ เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ เซรามิกเซอร์โคเนีย กราไฟต์ ลิเธียมแทนทาเลต และอื่น ๆ
เครื่องเจียรแผ่นเวเฟอร์แนวตั้งความแม่นยำสูงสามารถบดวัสดุเซมิคอนดักเตอร์รุ่นที่สาม เช่น SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO ซีรีส์ DL-GSD เป็นเครื่องเจียรที่ผลิตขึ้นเองในจีน และประสิทธิภาพการทำงานได้มาตรฐานโลก